PB1200系列直流脉冲偏压等离子电源

Overview 概述

PB1200是汇川技术为等离子镀膜设备反向偏压场景开发的电源。单机额定输出功率20KW，最大输出电压1200V，反向偏压最大输出电压100V，输出频率2kHz~100kHz可调，具有快速灭弧和高精度功率输出的能力；适用于物理气相沉积设备（PVD），可应用于真空行业PVD镀膜设备、光伏行业异质结电池片镀膜等场景。