PS1200系列中频正弦波等离子电源

Overview 概述

PS1200是汇川技术针对高质量要求镀膜场景开发的40kHz中频正弦波单路输出电源，采用双桥磁耦合并联+3级串并谐振滤波技术，实现了宽范围、低谐波、高质量正弦波电压及稳定的功率输出，助力真空镀膜沉积设备进一步提升膜层质量。